永诚真空：真空镀膜机常见故障分析
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等很多种。不管是什么机器设备，在使用过程中都会出现故障的情况，今天永诚真空就跟大家谈谈真空镀膜机常见的故障及原因分析真空镀膜机常见故障分析一、在镀膜过程中，真空度会突然下降。1.蒸发源水道中的胶罔环(替换胶罔)2.打穿坩埚(替换坩埚)3.高压电极密封处(更换胶圈)被击穿4.机械转动的密封处胶圈损坏(更换)5.前阀突然关闭可损坏二位五通阀(替换二位五通阀)6.高流量阀门突然关闭可能是位五通阀门损坏(更换二位五通阀门)7.机械泵的关闭可能是继电器的断开(检查继电器是否正常工作)8.烧结引入线电极密封处(替换胶盖)被击穿9.挡板动封处的胶固损坏(更换胶园)10.玻璃观察镜有裂痕和裂痕(玻璃更换)二、长时间工作时，镀膜机抽真空时间很长，不能达到工作真空，恢复真空，极限真空，保真空：1.蒸发室粉尘较多(洗洗机)2.扩散泵长期未换油(应清冼换油)3.前级泵反压强过大机泵真空度过低(应清冼换油)4.活动式密封圈损坏(更换胶园)5.由于蒸发室的长期高温，各密封胶园会老化(更换胶因)6.蒸发室各引水口密封件是否有胶罔损坏(更换胶圈)7.各引入座螺丝螺母(再压)是否有松动8.高低预阀门(注油)密封可靠与否。
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