热导传感器用于前级泵抽真空时真空度的测量

真空泵是一种利用机械、物理、化学、物理和化学等方法对容器抽真空，以获得并保持真空的装置的气体输送器械。它将低于大气压的环境中的气体输送到大气中，或在同一环境中以大气压输送气体。真空泵的作用是从真空室内抽出气体分子，使设备内的压力低于整机大气压，使真空室内的气体压力降低，达到所要求的真空度。

前级真空泵是指排气至大气压力的真空泵。用前级泵将系统中的压力抽到一定范围后再启动真空泵，以免真空泵超负荷运行。它们还需要支持辅助泵或实现其运行的初始条件。后备泵可选用水（液）环真空泵、旋片真空泵、滑阀真空泵、往复式真空泵等直接排气的真空泵。

由于真空应用部门所涉及的工作压力范围很广，任何类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围。只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求采用不同的型式。真空泵。为了使用的方便和各种真空工艺的需要，有时将各种真空泵按其性能要求进行组合，以单元式应用。真空泵抽的真空度测量一般使用传感器来监测，如工采网代理的以下两款真空度检测的传感器：